点击图片查看原图真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。至少要在10-3mbar以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。
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氢气泄露报警器的检测范围是多少
关于氢气泄露报警器的检测范围是多少，一般请根据在《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准》附录 常见气体、蒸气特性中提到：沸点(℃)：-253 ;浓度 (v%) :下限4.0; 上限75; 蒸气密度(kg/m3N):0.09; 设置氢气检测仪报警浓度值时应该按照氢气这些特性来;
一般目前传统的氢气泄露报警器量程范围有：0～500ppm、0～1000ppm、0～2000ppm、0～5000ppm、0～20%Vol、0～50%Vol、0～Vol、0～LEL，所有在工业生产中一般根据需要选择合适的检测范围设置即可。
氢气检漏设备
针对产品进行IP防水检测，可以通过两种仪器来实现，一种是防水测试设备，一种是气密检漏设备，防水测试设备是使用水来对产品进行不同防水等级的测试，来达到检测标准要求，而气密检漏设备是通过气压来模拟水压，实现对产品的密封性能的测试，不会损坏内部产品。所有的氦气检漏仪器机构的离子收集板，对氦气都会产生记忆效应，即氦离子打到离子收集板上，并储存一定时间，然后再慢慢释放出来，从而造成本底的噪音等问题。
气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品，一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔)，再进密性测试，即采用直接检测方法，另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制)，对仿形模具内腔进行充气，然后进密检漏设备。
氢气纯度分析仪
可实时监测氢气、CO2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度；量程气进口只在置换时用，可实时调看供氢纯度或供CO2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空
工作原理：
仪器由特殊设计的风机，压差交送器及压差计组成，实际则是风机产生的压差，但由于此压差值与气体的密度有关，而气体密度又直接与气体的成分成比例，故只要测出风机压差就等于测出了气体密度，实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。
