大鹏五金丝印曝光显影工艺值得信赖「利成感光」开放式问题

5分钟前 大鹏五金丝印曝光显影工艺值得信赖「利成感光」[利成感光38dbdb8]内容：曝光显影可以帮助制造微米或毫米尺寸的芯片结构，实现芯片的复杂功能。曝光显影技术可以制造出复杂的三维芯片结构，让芯片具有更高的性能和功能。曝光显影可以在芯片上制造微细的线路，从而实现快速和可靠的信号传输。曝光显影可以制造微小的电容、电阻、晶体管、发光二极管或太阳能电池等晶体管器件，快速将电信号转变为其他形式的能量。

曝光：使用紫外线曝光机将掩膜上的图案投射到光刻胶上。显影：使用显影液将未曝光的光刻胶清除掉，将芯片图案暴露出来将显影液涂覆在曝光后的晶圆表面上，正胶的曝光区域和负胶的非曝光区域溶于显影液中，进一步将反应聚合物和显影液残留冲洗后，就可以显现出光刻胶中的图形，曝光一般在曝光机内进行，目前的曝光机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷，

曝光不足，导致单体聚合不，那么在显影过程中，会使的胶膜变软，线条不清晰，色泽暗淡，脱胶。曝光过度，会造成难显影，留有残胶。同时曝光影响图案的线宽，过量曝光会使图形线条变细，蚀刻产品线条变粗。显影喷淋（developer dispense）：在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上，显影喷嘴分为以下几种：E2喷嘴，LD喷嘴，GP喷嘴，MGP喷嘴等。

显影喷淋（developer dispense）：在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上，显影液表面停留（puddle）：为了让显影液与光刻胶进行充分反应，显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。显影工艺是指用显影液去除晶圆上部分光刻胶，形成三维的物理图形在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上，